1） 采用工控機 PLC 條碼槍控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠(chǎng)MES系統相連接； 2） 適用于多種規格硅片的腐蝕清洗，同一臺設備可編程多套運行軟件； 3） 跟據工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動(dòng)、旋轉、溢流循環(huán)等功能； 4） 全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配、補液，保證了操作的安全穩定性； 5） 高速移載機械手，伺服驅動(dòng)控制，保證運行平穩，定位可靠； 6） 機械手直接夾取PFA籃筐（或夾取片子），更好的滿(mǎn)足工藝需求。