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日本開(kāi)發(fā)出在玻璃等脆硬材料加工新技術(shù)

2004-03-31 來(lái)源：

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東京工業(yè)大學(xué)理工學(xué)研究科的教授較近開(kāi)發(fā)出在玻璃、硅等脆硬材料上作微細的縱深方向加工的新技術(shù)。

據《日刊工業(yè)新聞》報道，脆硬材料容易破裂，但在長(cháng)度不足１微米的情況下，材料表面就會(huì )顯示出光滑、不易破裂等特性。利用這種特性，就可以在縱深方向上作壓制加工而保證不使其破裂。

學(xué)者們首先對進(jìn)行縱向加工的鉆石工具作了進(jìn)一步加工。他們在工具高等６０微米見(jiàn)方的區域內制做出３４２個(gè)邊長(cháng)為１微米的四方突起，突起之間設有１．７微米的離子束（ＦＩＢ）裝置。實(shí)驗時(shí)，他們使用這種工具對玻璃和硅的表面在幾秒鐘內施加１至５牛頓的壓力，結果發(fā)現普通玻璃上出現了３００納米深的小坑，且玻璃沒(méi)有破裂。此外，利用這種方法在耐熱玻璃和平面硅上也能壓出分別為７５和４５納米深的小坑。

據學(xué)者們介紹，迄今，在脆硬材料上做微細凸凹加工只有光刻法技術(shù)，而上述新技術(shù)屬機械性技術(shù)，與其原理完全不同。東工大的學(xué)者們下一步將開(kāi)發(fā)更微細的縱向加工技術(shù)。





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